二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Sequel #293614939 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Sequel是一种用于微电子器件制造的物理气相沉积（PVD）和蚀刻（RIE）组合工艺工具。此工具用于诸如在基板表面形成导电和介电材料层以及创建诸如触点和通风孔之类的设备模式等应用。NOVELLUS续集工具的序列过程分为两部分.第一部分是物理气相沉积（PVD）工艺，用于沉积导电和介电材料层。这部分构成了一个超高的真空室，包含基板的时候，材料的层被应用。材料从热源中蒸发，然后在基板表面冷凝，形成均匀的层。此过程的第二部分是蚀刻（RIE）步骤,用于将接触和通气等特征定义为材料层。这一步是通过使用高反应性等离子体激发供体分子来完成的。这一过程作为一种机制，以使用传统蚀刻技术通常难以实现的精确方式去除某些材料或特征。材料上的受控蚀刻速率随后受到控制等离子体密度和能量的射频功率的影响。LAM RESEARCH Sequel工艺通过将这两种工艺合并到一个系统中来提供更高质量的表面加工,从而可以将物理和化学工艺步骤合并到一个工具中。通过此双过程步骤,客户可以实现更高的精度和改进的设备制造可重复性。两步过程还能够实现理想的方面,例如精确的阵列控制,以减小特征尺寸的层厚度。综上所述，Sequel工具是一种最先进的反应堆工具，旨在实现微电子器件的精确制造。它采用双工艺室，以同时执行物理气相沉积（PVD）和蚀刻（RIE）步骤。这项尖端的LAM RESEARCH/NOVELLUS Sequel技术可以提供更高的精确度和更好的重复能力。