二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9167146 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed是一个革命性的批量反应堆,在高效、用户友好的设计中提供最大的灵活性、最大的吞吐量、卓越的控制和卓越的沉积均匀性。这座反应堆标志着先进的集成电路设计和制造在光刻一体化方面取得了巨大的进步。这个先进的反应堆在一个平台内进行蚀刻、沉积和清洁等作业，同时允许当地定制生产能力和复杂性。该反应堆使用多种计算机控制的工艺气体组合，允许对表面进行定制修改，采用先进材料，如氮化硅、多晶硅和钨等，以及无定形和溅射材料。反应堆配有几个独特的模块，便于更快、更受控制、更高效的过程。主要模块是双电极系统（DES）。DES提供了对工艺条件的极其精确的控制,同时还实现了更高的吞吐量速率。反应堆还配备了"分裂射流"喷嘴系统，该系统优化了多种材料的沉积特性。喷嘴还可以在整个业务晶片上实现更均匀的层覆盖和更好的清洁性能。该反应堆的NOVELLUS Speed通过使用其自动、highLAM RESEARCH Speed机器人处理晶圆和其他工艺部件而进一步提高。这个机器人增加吞吐量，减少体力劳动，消除污染的可能性。反应堆独特的横流设计效率极高，提供最大晶圆处理速度。反应堆还配备了先进的安全功能，如电气和化学联锁系统、紧急关闭开关、可配置的过程处理以及惰性气体联锁。NOVELLUS Reactor提供用户友好的设计和优越的工艺控制。该反应堆是为了与其他工艺组件集成而建造的，允许以最大的效率和灵活性生产先进的半导体。