二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9353432 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed是一种反应性处理设备，用于在执行复杂、高温和高纯度化学过程时提供高端处理性能和效率。它在高达600°C的最高温度下运行，设计可靠，能够提供高水平的系统性能和质量控制。NOVELLUS Speed Reactor的核心部件是一个工艺室、双气源、等离子体电源和多个晶圆烘烤炉。腔室由坚固的不锈钢外壳构成，支撑必要的绝缘材料，以承受加工所需的高温。腔室内有一个旋转的压板，该压板装有一个感光器和要加工的晶片。双气源为流程的每个步骤提供所需的流程气体。等离子体电源用于创建高强度等离子体，以进一步细化工艺气体，从而实现对工艺参数的精确控制。烤箱用于预热和热后晶片，以实现改进的加工和达到预期的效果。对于等离子体增强过程，LAM RESEARCH Speed可以处理多种不同的气体，包括氢气、氧气、氮气、氙气、氨、氯气以及多种其他化合物。对于物理气相沉积过程，Speed配备了各种挥发源，如电子束、灯和石英船。LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed在处理NOVELLUS Speed（因为其快速的温度倾斜率）、腔室均匀性以及提供极低压力、低能量环境以创建稳定过程方面提供了卓越的性能。此外,LAM RESEARCH Speed通过其多个等离子体源、先进的控制系统和精密的计量单元,在沉积速率、均匀性和晶圆产率方面都能实现卓越的工艺性能。对于那些寻求先进工艺制造和设备制造解决方桉的人来说,速度是一个理想的选择。LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed提供坚固的结构、精确的控制和卓越的工艺质量,使其成为那些寻求可靠、高性能的加工机的人的绝佳选择。