二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHM #293644141 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express AHM是一种先进的高生产力化学气相沉积反应器，专为大体积半导体制造而设计。该反应器能够沉积大面积电介质和金属，如高k电介质和金属合金，用于集成电路装置的制造。其广泛的沉积过程使其能够支持各种应用和材料。NOVELLUS Vector Express AHM具有模块化设计，易于安装和设置，以满足基板处理和吞吐量要求。它具有大型自动盒式装载端口，方便晶片的装卸，以及用于轨道的传送带系统。其先进的沉积室设计包括监测和控制过程均匀性的仪器以及控制过程条件的自动化软件。LAM RESEARCH Vector Express AHM还具有多个气体入口阀，使其能够支持广泛的沉积过程。此外，它还配备了前体溷合和输送系统，允许对薄膜成分进行精确控制。这保证了沉积化学的精确满足，从而产生更高质量的薄膜。除了影片的质量外，Vector Express AHM还提供了许多有助于其生产力的功能。其高沉积速率提供了比其他CVD反应堆更高的生产吞吐量，其先进的工艺控制确保了整个晶片更大的均匀性。其高效的自动晶圆处理系统减少了周期时间和拥有成本，而其集成的安全功能确保了操作员的保护。总体而言，LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express AHM是大容量IC器件制造的理想CVD反应器。其先进的设计和特点使其成为优质薄膜沉积的可靠高效的解决方桉。它完美结合了过程控制、效率和安全性,使其成为要求最苛刻的应用程序的理想选择。