二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector XT #293627660 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT是一种高性能、全自动的大气压力等离子体蚀刻沉积系统，专为先进的3D材料制造而设计。NOVELLUS Vector XT提供了最高的速度、最高的精度和最低的气体消耗,以实现高产、经济和可持续的过程。LAM RESEARCH Vector XT是一种独立的批量处理工具,具有集成的气体/真空歧管,可同时使用多达12种工艺气体,在制造要求方面具有广泛的灵活性。它的模块化设计提供了卓越的过程控制,为用户提供了降低的拥有成本、高吞吐量和可重复的过程。Vector XT反应器的真空室是一个圆柱形的不锈钢结构，直径10英寸。它的密封是由手动门锁和一个低压，氮填充清洗溶液的组合维护。当工具需要新的工艺气体时，可以在抽出之前将其装入腔室底部，从而实现快速高效的过渡。LAM RESEARCHY/NOVELLUS Vector XT包括最快的双轴"z-theta"机械手（机械臂）之一，可用于调整基板的角度，从而实现对过程的微调控制。车载数字化过程控制单元包含一系列专用和集成的硬件和软件组件,能够自动执行蚀刻和沉积过程。这可以包括温度控制、反应性气体速率控制、射频供电、压力曲线、气体测序和气体组成。双频射频电源可提供高达450瓦的功率,而交替脉冲直流电源可提供高达300瓦的功率。NOVELLUS Vector XT的操作终端采用用户友好界面设计,提供了一系列功能,包括设置、过程评估、数据审查、密码保护以及手动模式和自动模式之间的切换。安全功能也很丰富,包括接近传感器、灯系统和压力监视器。这些灯配置为指示腔室压力、系统状态、气体检测和气体处理，确保操作员安全。LAM RESEARCH Vector XT的腔室尺寸足够容纳多种基板，大小可达450mm x 450mm x 300 mm，适合晶圆、PR基板、MEMS器件等复杂基板。其专有的喷嘴几何形状允许在蚀刻和沉积过程中具有均匀性和可重复性，令人印象深刻的沉积速率为20埃/秒。总之，Vector XT是一种通用耐用的大气压力等离子体反应器，适用于各种蚀刻和沉积过程。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT具有先进的功能和使用多种基材的能力,可为用户提供干净、可重复的结果,并降低拥有成本。