二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector XT #293649596 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT是一个用于半导体加工的反应室。它能够为需要超高真空水平的序列特异性化学提供高吞吐量和低拥有成本。NOVELLUS Vector XT是几种特定于应用程序的配置中用于高级材料处理的领先工具,是蚀刻和沉积等关键制造步骤的理想选择。作为集成设备,LAM RESEARCH Vector XT配备了先进的RPC（快速过程控制）模块,允许灵活、准确的过程控制,以及可靠、安全的操作。Vector XT的性能超过传统系统，具有较高的过程重复性和精确的交付能力。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT具有在单室内进行多步处理的能力，使得多次作业在较短的时间内完成。NOVELLUS Vector XT可以配置在气相或液相系统中，允许各种应用。此外，LAM RESEARCH Vector XT拥有先进的加热/冷却系统，可实现精确和可重复的温度控制。Vector XT还配备了专利的多效果型排气单元，允许排气的最佳效率和均匀性。排气机独特的设计使其在低背景压力下具有优异的性能。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT的主要特点是其独特的腔室几何形状，允许独特的基板序列和工艺配置。NOVELLUS Vector XT在使用合适的工艺气体、激光和泵时可以达到高精度和吞吐量。除了卓越的性能，LAM RESEARCH Vector XT还提供高水平的可靠性、安全性和稳定性。为了确保高效运行,Vector XT对所有硬件和软件组件进行严格的质量控制,并定期接收软件更新。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT符合最新要求和行业标准,包括SEMI S2、S8、S18和MIL STD 45662。NOVELLUS Vector XT是一种革命性的反应室，旨在提供半导体加工方面的卓越性能。其先进的特性和高精度的性能使其成为大型和小型制造工艺的理想选择。LAM RESEARCH Vector XT允许可靠和经济高效地生产先进材料供各种行业使用。