二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector XT #293649597 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT Reactor是一种用于半导体器件制造的多功能蚀刻沉积工具。它将紫外线激光加工、直流等离子体蚀刻、高密度等离子体和反应性气体沉积结合在一个工具中，提供全面、自动化的处理解决方桉。NOVELLUS Vector XT是一个完全集成的平台，提供系统级和腔室级控制，实现完整的原位过程表征和诊断。LAM RESEARCH Vector XT的紫外线激光处理能力提供了一种能精确蚀刻和沉积极低线宽粗糙度纳米级结构的高精度光束。激光还可以用来形成具有锋利的精密和侧壁角的亚微米大小的插槽，以及用于快速的"黑面膜"处理。通过利用直流等离子体蚀刻,Vector XT使用户能够利用先进的CCM技术创建高纵横比、深沟和外围屏蔽等功能。这也消除了额外的预蚀刻步骤、加速循环时间和降低成本的需要。LAM RESEARCHY/NOVELLUS Vector XT也支援高密度等离子体（HDP）沉积高级金属、氧化物和电介质。这些HDP工艺导致最小的重新沉积，这对于沉积表面粘附不良的材料是必需的。NOVELLUS Vector XT还支持反应性气体沉积，以进一步增强对薄膜结构的控制。这样可以消除沉积后的处理,如清洁、冲洗、固化和调理,从而缩短了整个周期的时间。为了进一步完善其功能,LAM RESEARCH Vector XT集成了一系列诊断程序,以解决现场的实时挑战。配备原位光谱仪，提供多波长分析，评估蚀刻速率、沉积速率和材料特性。它提供反馈,以不断调整工艺参数,并在产量、生产率和设备性能之间实现最佳平衡。此外，Vector XT还支持晶圆射频计量，实时监测蚀刻速率和精度。总体而言，LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT Reactor是一种用于半导体器件制造的多功能多室工具。它提供精确的纳米级光束处理、高纵横比蚀刻能力、高密度等离子体沉积和反应性气体沉积。NOVELLUS Vector XT还提供高级诊断，包括光谱和晶圆射频监测，以确保最佳的过程表征和控制。这一功能组合为半导体器件制造提供了全面的解决方桉。