二手 LAM RESEARCH Sabre 3D #293620476 待售

LAM RESEARCH Sabre 3D是一种先进的反应堆,旨在实现突破性的蚀刻和沉积过程,从而实现跨多个行业的卓越制造能力。它具有两个模块化腔室选项,能够进行高长宽比缩放以及三维（3D）体系结构。Sabre 3D还具有自动放置过程,可实现较低的拥有成本和最小的维护需求。通过先进的硬件和软件优化，反应堆确保了生产级和研究级应用所需的高质量性能、可重复性和可靠性。LAM RESEARCH Sabre 3D的主要特点包括其优越的蚀刻精度和重迭控制，坚固的沉积速度和良好的均匀性，以及多用途的材料兼容性。其模块化的腔室选项、自动沉积过程和先进的硬件/软件优化进一步增强了其上市时间。为了提高蚀刻精度，反应器利用新的射频磁场和各向同性、对称的蚀刻剖面来提高工艺的可重复性。对于沉积速度和均匀性，Sabre 3D允许较高的薄膜生长速率和具有突出平面化特性的保形薄膜。整个系统经过优化，以实现最佳使用，使出色的蚀刻和沉积过程能够在较短的时间内完成，并具有极好的均匀性。此外,其硬件组件被设计为一个集成单元,提供了简化的性能和易用性。它利用三气注入能力，比双气系统效率更高。此外,LAM RESEARCH Sabre 3D还具有动态压力和温度控制功能,使反应堆能够在广泛的操作环境中运行,同时仍能获得最高的精度和可重复性。从材料兼容性的角度来看,Sabre 3D非常适合基于抵抗的蚀刻和沉积,并且针对控制临界尺寸（CD）、特征均匀性和胶片覆盖范围进行了优化。该反应器还可用于其他薄膜，如电介质、导体和绝缘体，使其适合广泛的应用。综上所述，LAM RESEARCH Sabre 3D是一种先进的反应堆，旨在实现突破性的蚀刻和沉积过程。它具有模块化腔室和先进的硬件/软件优化两种选择，具有出色的蚀刻精度和重迭控制以及较高的沉积速度和均匀性。其出色的材料兼容性以及动态压力和温度控制使反应堆能够在各种操作环境中运行,从而实现最高精度和可重复性,并且其自动沉积工艺能够以最小的维护需求实现高速制造。