二手 LAM RESEARCH Sabre 3D #9300020 待售

LAM RESEARCH Sabre 3D是一种三维感应耦合反应溅射沉积室，旨在提供薄膜的精确溅射沉积。Sabre 3D独有的高效密度控制机制，使得精确厚度和成分的颗粒能够沉积，从而对薄膜沉积进行更大的控制。LAM RESEARCH Sabre 3D强大的感应耦合等离子体（ICP）源造成了强烈的能量场，导致粒子以高速率从目标材料中溅射。这保证了薄膜沉积的一致性和均匀性，使涂层性能极佳。Sabre 3D有两个独立的等离子体源，一个安装在下腔，另一个安装在上腔，允许材料在同一运行中沉积在两个基板上。与传统溅射系统相比，其主要优点是沉积速率更高，均匀性提高，排便率降低。除了提供高速率沉积，LAM RESEARCH Sabre 3D还提供卓越的表面制备和蚀刻能力。网状阴极和创新的灯丝几何形状为等离子体蚀刻创造了一个强烈的领域，从而产生了优越的表面制备和改进的膜均匀性。Sabre 3D还可用于沉积前蚀刻基板，从而提高生产率和改进工艺控制。LAM RESEARCH Sabre 3D还附带了先进的过程监控功能。它配备了一个先进的控制系统，可以不断监测工艺参数，从而能够更好地控制薄膜沉积的这一关键步骤。过程控制工具如过程调整、自动化过程控制和统计过程控制（SPC）也很容易获得。总体而言，Sabre3D是一种高度通用和高效的感应耦合反应溅射沉积室，旨在提供薄膜的精确溅射沉积。其先进的工艺监测和控制能力，优越的表面制备和蚀刻能力，以及卓越的速率沉积，使其成为要求苛刻的薄膜沉积应用的绝佳选择。