二手 LAM RESEARCH SOLA #9312000 待售

LAM RESEARCH SOLA是一种最先进的反应堆技术，旨在最大限度地提高半导体生产性能和器件产量。SOLA技术是一种等离子体增强CVD （PECVD）沉积设备，提供卓越的均匀性、重复性和沉积速率控制。该系统能够在低压下运行，以实现高质量的薄膜具有卓越的保形性和步进覆盖率。该装置利用四个独立控制的气源进行各种沉积构型。结合了一种先进的定时机器，用于所有反应物之间的精确同步，这有助于控制薄膜的生长轮廓。该工艺室还可以配置一系列附件，如均匀气体分配的淋浴头或一系列喷射模块，以允许高精度目标和源气体剂量。该工具还具有先进的热控制资产,能够快速加热/冷却,同时保持低温均匀性。这有助于从可靠的沉积工艺配方中获得高收率,而不会产生不必要的热应力。热控制模型采用红外加热器、涡轮分子泵、冷阴极的组合来管理工艺环境。此外，设备还配备了许多安全和监测系统，以确保对工艺参数的最佳控制，并保护人员免受潜在危害。该系统包括泄漏探测器、联锁装置和一系列过程控制警报，有助于维持可靠的过程控制和监测单元运行。总体而言,LAM RESEARCH SOLA是最先进的可靠和可重复的技术,提供卓越的均匀性、沉积率控制和薄膜质量。由于性能优越，SOLA适用于从光电子到特种化学品等广泛行业的应用。