二手 LAM RESEARCH SOLA #9314232 待售

LAM RESEARCH SOLA反应器是一种先进的、最先进的、灵活的、基于等离子体的原子级材料沉积工具。它主要是为各种半导体和表面工程应用而设计的，如薄膜沉积、静电溅射和超薄膜沉积。该工具采用非激活双源双电极等离子体（NADSPL）架构，允许非常薄的膜（通常小于0.01超纳米）的高精度和可重复的沉积。在基于NADSPL的SOLA中，使用两个独立的射频源生成两个不同的等离子体源；一个用于主要沉积过程，一个用于蚀刻工件。LAM RESEARCH SOLA的设计提供了单一封装的单反应堆双等离子体功能，允许显着的过程吞吐量增加。SOLA还提供高级电离控制以及一系列多功率和多位置等离子体源。多电源允许优化整个基板上的晶圆轮廓,而多位置电源允许在沉积过程中精确控制工艺条件。LAM RESEARCH SOLA配备了最新技术，包括种类繁多的专用传感器、多传感器温度控制以及目前可用的最高精度编码器设备。该系统能够将材料精确地放置在工艺室内,以便于创建符合高质量和性能标准的产品。SOLA还配备了一个先进的装置，用于减轻环境中的颗粒污染。该机器包括粒子陷阱、过滤器和控制过程气体组成的系统。这确保了该过程对操作员和生产的最终产品都是安全的。总体而言，LAM RESEARCH SOLA工具是一种先进的工具，用于沉积薄膜和其他复杂的原子尺度材料。它采用了一系列改进产品质量、降低过程成本和尽量减少浪费时间的先进技术。