二手 LAM RESEARCH STRATA-GX #293654487 待售
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ID: 293654487
晶圆大小: 12"
优质的: 2016
CVD System, 12"
EFEM
Gas box
AC Rack
Monitor
2016 vintage.
LAM RESEARCH STRATA-GX是一种下一代反应堆，设计用于半导体等先进材料的等离子体加工应用。反应堆是串联室类型，允许精确控制等离子体的产生和加工条件。第一室是一系列先进推进器的所在地，包括离子源、中和器和中性束；这些组件使高密度等离子体的生产具有令人钦佩的功率效率。第二个腔室包含初级工艺组件，如电极、墙壁、屏蔽以及蚀刻或沉积目标。STRATA-GX反应堆设计具有用户友好的自动化和过程控制，目的是提供尽可能高的性能和安全水平。所有必要的组件，如终端效应器、传感器和分析仪，都集成到反应堆中，以确保最佳性能。先进的过程控制算法能够对过程参数进行精确的实时调整，最大限度地提高精度和重复性。LAM RESEARCH STRATA-GX反应堆还具有确保等离子体工艺质量的先进诊断功能。系统集成了束电流监测、等离子体电子温度测量、化学成分分析、基板表面成像等一系列诊断，以进行全面的工艺洞察。STRATA-GX反应堆也广泛考虑了安全性。反应堆配备了多种安全特性，如温度限制、腔室压力监测、等离子体危险安全壳等。此外，反应堆还配备了一系列复杂的安全协议，以探测和应对任何潜在风险。LAM RESEARCH STRATA-GX反应堆是众多半导体和先进材料加工应用的理想系统，提供先进的工艺能力、准确的工艺监控和诊断，以及全面的安全功能。这种可靠、现场验证的系统为要求最苛刻的应用提供了成功的等离子体处理结果。
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