二手 LAM RESEARCH Striker #293616563 待售

LAM RESEARCH Striker是一种感应耦合等离子体（ICP）反应堆，允许用户制造尺寸约100纳米的复杂纳米级结构。Striker反应堆是一种单晶片设备，结合了先进的技术、可靠的硬件和直观的软件控制，创造了一个用户友好的设备。这种反应堆利用一种特殊类型的等离子体，称为感应耦合等离子体（ICP），当磁场施加到反应堆中的气体和电子被激发时产生。ICP等离子体对100 nm以下特征的制造非常有效和有益。LAM RESEARCH Striker Reactor中所使用的气体通常是氙气，但也可以使用其他气体。这座反应堆还利用了恩杜拉，这是一个先进的控制系统，旨在简化操作。Striker占地面积小，适合实验室环境。该装置是为优化沉积均匀性和颗粒沉积而设计的。LAM RESEARCH Striker机还提供底物清洗和低压底物轰击，然后再进行反应性离子蚀刻（RIE）加工。Striker的加工室被密封，并连接到可重复射频（RF）发生器。这台发电机产生一个振荡的电磁场，负责激发室内的电子。等离子体的产生还要求室内保持低水平的真空，使内部气体密度恰到好处。LAM RESEARCH Striker工具还有一个基板卡盘，可以在控制资产的控制下加热或冷却，以确保更好的膜均匀性。它还有一个多核数据采集模型，使监测过程参数更加容易。该设备还具有自动晶片提升装置，便于晶片加载。总体而言，Striker Reactor by LAM RESEARCH是一种可靠且用户友好的设备，提供制造纳米级结构所需的能力。它利用先进的ICP技术，拥有必要的硬件和软件，使用户体验尽可能直观和简单。对于那些希望制造复杂纳米级结构的人来说，这是一个很好的选择。