二手 MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Exim #293609622 待售

MRC/TEL/TOKYO ELECTRON EXIM是一种反应器，特别是一种化学气相沉积（CVD）工具，用于开发电子元件和材料。该反应堆设计为提供高纯度的工艺室环境，广泛的工艺范围和精确的工艺控制。MRC Exim反应堆主要用于制造半导体晶圆和平板显示器。TEL Exim反应堆系列由XE100、XE200和XE300三种类型的机器组成，每种机器设计为提供不同的功能。该XE100本质上是一个单一的晶片工具,是一个经济但用途广泛的平台,提供多种批处理功能。该XE200稍微复杂一些，设计用于高性能的单晶片应用，如腐蚀和沉积复合氧化物。最后，XE300模型是三者中最先进的，提供了与MRC过程控制系统的集成和全批处理能力。TOKYO ELECTRON EXIM反应堆主要由不锈钢构成，符合健壮半导体制造环境的要求。设计包括一个用于晶片的插入和加工的加工室，以及用于产生等离子体、注入化学品、加热元件和排出副产品的端口。此外，还有一些安全特征，用于保护人员免受过程中产生的任何有害材料和蒸气的影响。该反应堆设计用于支持一系列工艺参数，包括快速热退火、MOCVD、PECVD、蚀刻和光生产工艺。这些过程是通过以气态形式引入必要的化学前体来实现的，然后可以快速加热并激活，形成所需的产物。通过对温度、压力以及室内各种气体环境的精确操纵，可以开发出难以置信的精确和可重复的电子元件和材料。Exim系列反应堆是一种高度灵活和坚固的工具，可用于制造高度精确和可靠的电子元件和材料。通过其广泛的工艺能力和精确的工艺控制，这座反应堆是任何现代半导体制造设施的宝贵工具。