二手 NAURA / AKRION iTOPS A230 #293639722 待售

NAURA/AKRION iTOPS A230是一种电感耦合等离子体（ICP）反应堆，用于微电子过程。这种反应器是一种高性能、技术先进的装置，能够沉积微结构、薄膜和高宽高比孔。是生产先进纳米材料和半导体制造的理想解决方桉。NAURA iTOPS A230通过向电磁线圈施加高频交流电来运作，电磁线圈产生具有磁矩的多极感应场。该场产生目标材料的局部加热，诱导一个称为电离的过程。在这个过程中，磁场导致目标材料中的电子绕着原子核运行，当材料加热到高温时，电子就会脱离并形成电离粒子。这些离子化的粒子随后可以与室内的其他粒子发生反应，并利用磁场进行操纵，以沉积所需的微结构、薄膜或孔的模式。除了强大的多极感应场之外，AKRION iTOPS A230融合了独特的源气体输送系统。该系统控制反应室内使用的气体压力和流量，使沉积的精确参数得以优化。这种精确度对于保持电影性能的最高质量至关重要。此外,iTOPS A230能够容纳多种工具配置,从而使用户在生产过程中获得最大的灵活性。为方便用户,NAURA/AKRION iTOPS A230具有广泛的安全功能。电机和联锁装置可防止操作员在更换部件时访问带电部件,并且紫外线和电源监控系统可确保操作过程中的安全。此外，反应堆在每次运行后都会自动冷却，从而提供更多的防止污染的保护。NAURA iTOPS A230是一个可靠和先进的ICP反应堆，专门为制造先进的纳米材料、薄膜和微结构而设计。强大的多极感应场、源气输送系统、内置的安全功能和可定制的工具配置为用户提供了生产优质产品所需的精确度和灵活性。