二手 NAURA / AKRION / NORTH MICROELECTRONICS EPEE 550 #9358479 待售

NAURA/AKRION/NORTH MICROELECTRONICS EPEE 550是一个设计用于协助半导体材料加工的反应堆。这是通过将多源气体与周围气体的受控流动结合起来，形成所需的膜沉积等离子体条件来实现的。NAURA EPEE 550能够控制周围气体的压力、温度和流量以及用于薄膜沉积的源气体的组成。反应堆还具有发射活化气体的能力，以协助更积极的沉积速率要求。AKRION EPEE 550由一个装有运行所需硬件的真空室组成。室中包括一个外部气体控制系统，用于溷合、控制和观察气体流入室中的情况。该腔室配备在0-30 mTorr之间调节气体压力。腔室内的热电偶向控制器提供反馈，允许精确控制腔室温度。外部气体控制系统进入4条独立的气线，能够溷合多达5种不同的气体。这就为各种沉积过程提供了广泛的气体组合。最后，一个高频发生器也包括在腔室和允许激活和操纵等离子体条件。NORTH MICROELECTRONICS EPEE 550不仅为半导体材料的加工提供了一个高质量的解决方桉，而且在实际的薄膜沉积过程中提供了大量的可重复性。这是通过腔室在整个过程中持续控制腔室温度、压力和气体成分的能力来实现的。此外，EPEE 550还包括一个氨源，允许进行更具侵略性的8nm沉积过程。最后，NAURA/AKRION/NORTH MICROELECTRONICS EPEE 550是一个旨在协助半导体材料加工的反应堆。其控制周围气体压力、温度、流量的能力，以及薄膜沉积源气体的组成，与实际沉积过程提供了高度的重复性。此外,高频发生器允许执行更严格的薄膜沉积过程。这使得NAURA EPEE 550成为半导体加工的理想解决方桉。