二手 NOVELLUS 02-134264-00 #293663402 待售

NOVELLUS 02-134264-00 Reactor是为高性能蚀刻沉积应用而设计的最先进的等离子体处理设备。这种先进的反应堆利用超高功率等离子体源和动态过程控制，使其适用于广泛的底物和材料。02-134264-00反应堆具有集成的等离子体控制平台，允许精确的原位过程监控。该平台监控多种等离子体参数，如离子电流、射频功率、源温度、反应物分布等，以确保一致的蚀刻沉积操作。为了进一步促进流程优化，控制平台可以生成用户定义的实时报告功能。在底物相容性方面，NOVELLUS 02-134264-00 Reactor能够在广泛的表面蚀刻沉积，包括金属、氧化物、氮化物和复合材料。该系统的动态功率范围可确保在各种表面和基板上进行可靠的蚀刻和沉积。02-134264-00反应堆还配备了先进的安全特性。其集成过程安全单元监控反应堆的温度、压力和功率水平，以确保保持可靠和安全的等离子体处理操作。此外，反应堆经过UL认证，确保符合所有安全要求。NOVELLUS 02-134264-00反应堆的物理设计采用高精度微型径向气体分配网络。这种高效的分配网络确保了等离子体负载在整个腔室中的正确分配，以获得最佳的性能和可靠性。反应堆还采用模块化结构，占地面积小，便于安装维护。综上所述，02-134264-00反应堆是为蚀刻沉积应用而设计的先进等离子体加工机。其集成的等离子体控制平台确保了精确的现场过程监测。其基板兼容性和动态功率范围允许在各种材料上进行可靠的蚀刻和沉积操作。反应堆还配备了先进的安全特性，为等离子体加工作业提供最佳安全。最后，其高精度的径向气体分配网络和较小的占地面积使这一单元易于安装和维护。