二手 NOVELLUS 02-267288-00 #293657512 待售

NOVELLUS 02-267288-00是半导体工业在蚀刻过程中使用的反应堆。这类反应堆特别设计为通过蚀刻区域提供具有均匀性和可重复性的快速和精确蚀刻速率。02-267288-00反应堆用于去除沉积物料，以及在基板上放置精确的设计图桉。反应堆是一个四切面的机器，包括了锁载室、填充室、等离子室和排气室。锁载室将底物加载并卸载到等离子体蚀刻过程的位置。填充室用指定的蚀刻气体填充等离子体室，并进行精确的体积控制，以确保适当的均匀性和过程的可重复性。等离子体腔在高压超冷环境下运行，提供高均匀度蚀刻速率。排气室内装有专门的排气挡板，用以将等离子体沉积在室内。NOVELLUS 02-267288-00反应堆能够处理广泛的底物，包括硅基、金属基、氮化物和其他材料。反应堆还能够精确处理具有盲或埋藏特征的底物。这样可以确保设计模式得以保留,并在基板的所有区域中保持精确的蚀刻速率。反应堆利用高频动力补给产生交替电磁场，产生等离子体。然后使用此等离子体以所需的精确蚀刻速率蚀刻基板。该反应堆的设计能够精确地蚀刻到纳米级，从而能够清洁和可重复地去除材料。为了保持对蚀刻过程的精确控制，02-267288-00反应堆还能够监测温度、压力、射频功率等关键参数。反应堆还可以检测过程异常，如等离子体不稳定性或化学失衡。在过程异常的情况下，反应堆可以采取纠正措施，以确保稳定和均匀的蚀刻速率。总体而言，NOVELLUS 02-267288-00反应堆是用于半导体蚀刻工艺的可靠而坚固的工具。均匀的蚀刻速率和精确的设计模式控制确保了设计模式的高可靠性。该反应堆能够以纳米级精度精确蚀刻，能够检测任何工艺异常，以便迅速采取纠正措施。