二手 NOVELLUS Altus #9261397 待售

NOVELLUS Altus是由NOVELLUS开发的下一代、先进的高压化学气相沉积（HPCVD）反应器。它是第一个将HPCVD的薄膜沉积工艺带到20个以上大气的超高压环境中的设备。这一革命性的技术使得高质量、均质的薄膜具有优越的附着力、优良的质量控制和低污染的沉积。Altus是一个多室系统，意味着它具有一个主室和一个原位处理室，支持三个独立的气体输送系统进行沉积、清洁和退火。它还提供了一个创新的高压沉积模块，可精确控制工艺条件，从压力和温度到气流和溷合。NOVELLUS Altus中的沉积过程可以针对各类材料量身定制。它是高效的，并确保层厚度在基板上的均匀分布。此外,它还具有低污染水平,导致产品质量优良,缺陷最小。Altus是一个非常通用的单元，可用于平板显示器、半导体芯片、数据存储设备等广泛的薄膜沉积应用。它还被设计为节能，具有能源循环过滤、气体雾化、低压CO2清除以及为节约能源而设计的阀门等特点。NOVELLUS Altus机器非常人性化，操作方便。它采用安全和易于使用的维护流程,其直观的用户界面可确保快速操作和设置,从而减少停机时间。总体而言，Altus是先进的HPCVD反应堆，为广泛的薄膜应用提供了出色的均匀性、低污染和超高压沉积能力。它是一种高效、通用、用户友好的工具,可提供卓越的性能和卓越的薄膜。