二手 NOVELLUS Altus #9261414 待售

NOVELLUS Altus是一款高性能的下一代沉积涂层，专为先进的材料沉积和蚀刻工艺而设计。它采用独特的高级体系结构设计,提供超高的材料沉积速率和卓越的工艺控制。Altus平台设计用于制造FinFET、MEMS、3D NAND和其他复杂结构。NOVELLUS Altus可以沉积和图桉层，具有高膜厚均匀性，以及具有高精度和重复性的蚀刻特性。Altus设备结合了硬件和软件，提供精确的材料参数，优越的工艺控制，以及出色的统一性。该系统具有光刻和蚀刻硬件以及高级沉积模块。它采用了一种创新的双级顺序反应堆设计，利用旋转和线性机制，允许线圈高速旋转。这提供了对沉积过程的高度控制，同时允许更大的材料特性均匀性。该单元还可以配置用于各种胶片类型，包括保形、重新溅射和阴影。它采用独特的两步测量工艺，提供真正准确的薄膜厚度均匀性。此外，保形沉积步骤允许创建具有精细控制特征大小的三维形状。NOVELLUS Altus平台还配备了快速、精确的对准机，用于精确的胶片配准，以及专有的高级架构沉积船，可实现卓越的涂层均匀性。它还具有高速的薄膜吞吐量能力，这样即使是大的层也能得到快速准确的处理。除了硬件组件，Altus工具使用专有软件来控制沉积过程。该软件具有用于自动pellicle loading、smart pump-down optimization、feature registration和许多其他功能的选项,这些功能都是根据每个特定过程的要求量身定制的。NOVELLUS Altus是一款革命性的产品,它为用户提供高精度、高通量、高均匀性沉积和蚀刻过程的强大功能。其先进的体系结构使它能够处理制造最先进的电子产品的各种过程。