二手 NOVELLUS C3 WTS #9240252 待售
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NOVELLUS C3 WTS是一种高性能热处理反应堆，能够经济高效地生产最新的微电子器件。它是一个先进的热处理反应堆，可以提供高达同级其它反应堆吞吐量和质量的三倍。C3 WTS的腔室容积超过3立方英尺，能够将基板快速热处理至高达900 °C的温度。它以垂直多区气流设备为基础，利用高速氮气保证精确的温度控制。NOVELLUS C3 WTS结合了先进的温度控制系统，带有闭环反馈单元和多个气流限制机，允许精确的温度区分割。它的陶瓷腔室衬里耐用性强，能承受长期暴露在广泛的温度范围内。集成绝缘材料的设计目的是尽量减少热量损失，确保高效的工艺操作和稳定的温度。C3 WTS还采用了先进的过程控制技术，包括一系列传感器来监测和实现预测性维护操作。该反应堆还包括自动清洗、数据收集、趋势分析、周期优化和样品跟踪等功能。反应堆配备了先进的工艺控制，以实现精确的温度控制和均匀性。这确保了在NOVELLUS C3 WTS中处理的所有基材的性能和可重复性。它还采用了先进的数字温度控制器，旨在提供准确和稳定的性能。总体而言，C3 WTS是一种高性能的热处理反应堆，旨在高效率和经济高效地生产最新的微电子器件。其先进的温度控制工具可确保精确的温度控制和均匀性,而其集成的传感器可实现预测性维护操作和长期耐用性。NOVELLUS C3 WTS具有可靠的性能、高效的操作和多种过程控制功能,是任何现代微电子处理设施的宝贵资产。
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