二手 NOVELLUS Chambers for Inova #9282131 待售

NOVELLUS Chambers for Inova是一个为处理先进材料而设计的反应堆。这个反应堆是一个PECVD室，用330 MHz，8 kW感应等离子体发生器建造。它有一个66厘米深的圆柱形腔室和一个顶板，设计用来容纳压力范围为0.3-0.7 Torr的HF等离子体。该腔室非常适合在高温下需要高沉积率和均匀性的织物。反应堆能够达到从20°C到1100°C的大范围温度，这使得在这个腔室中可以运行各种各样的过程。Chambers for Inova的核心是感应等离子体发生器，它是腔室可靠运行的关键部件。等离子体发生器采用多通道变压器，将交流电源转换为直流电源，以提高等离子体的可靠性和功率。交流电流随后通过多个线圈，产生电场产生等离子体。这种设备的设计具有功率和带宽，以确保等离子体在沉积过程中保持一致。该室还拥有一个动态控制系统，旨在监测和控制等离子体参数，以确保室内的均匀性。控制单元监测等离子体发生器内的通道电位水平，以及监测腔内的压力。此外，控制机器还能够调整等离子体的功率，以尽量减少对正在加工的材料造成损坏的风险。NOVELLUS Chambers for Inova的设计效率很高，因为它能够在低至20°C的温度下实现高沉积速率。此外，该室能够在较大的表面积上实现均匀的沉积速率，而且沉积速率误差非常低。该反应堆由于精度高、效率高，是制造高性能先进材料的理想选择。