二手 NOVELLUS Chambers for Inova #9355346 待售

NOVELLUS Chambers for Inova是一个先进的过程反应堆，对输入和输出参数提供精确、可重复的控制。该反应堆使用户能够以最小的变化准确、一致地获得所需的结果。它非常适合生产电子工业中使用的材料和元件，如半导体、微电子和光子学，以及其他多种先进材料。Inova室由两个室组成：真空室和反作用室.真空室用于降低工艺材料的压力，而反应室则用于溷合和反应材料。两个腔室均具有气体和温度调节功能,可精确控制化学反应。此外，反应室具有先进的流速和温度监测能力，使配方得以精确调校。NOVELLUS Chambers for Inova还包括一个集成的电容传感器，提供膜厚度和剩余时间的实时反馈。此功能可帮助用户监控和优化沉积过程,以获得一致的产量和结果。Inova的Chambers设计易于使用和维护。它具有完全集成的控制系统,具有用户友好的图形界面和板载配方创建工具。这简化了定制食谱的开发，有助于减少新设备用户之间常见的学习曲线。NOVELLUS Chambers for Inova还具有先进的安全功能，如压力释放阀和紧急关闭系统。这些功能使用户能够安全地使用潜在危险材料,从而降低发生事故或受伤的风险。总体而言，Chambers for Inova提供了一个强大而高效的过程反应堆，使用户可以对其过程进行特殊控制。这个腔室非常适合实验和生产最先进的材料和部件，同时也确保用户拥有安全舒适的工作环境。