二手 NOVELLUS Concept 2 Altus Shrink #293777488 待售

NOVELLUS Concept 2 Altus Shrink是一种最先进的等离子体增强超高真空沉积反应器，旨在为半导体行业提供精确的薄膜沉积能力。它是一种高度先进的设备，包括腔室、波纹管、腔室阻尼、波纹管阻尼、快速粗糙的螺距电阻驱动器和冷却组件。该室是一种用于反应性气体沉积的超高真空环境，配备了所有必要的真空泵和隔离阀。它连接到升降机系统、盖子、快速俯仰驱动器和风箱，以便气体进入。腔室内部涂有纳米陶瓷绝缘体，以提高机组寿命，保持高能效。一个大的石英窗口可以在沉积过程中目视检查基板。机器的核心是一个快速俯仰驱动器，它允许精确的速度控制和更高的吞吐量，具有多种电源配置。集成的高频匹配网络增加了沉积均匀性，减少了浪费。波纹管的设计使薄膜层的应力和变形最小化，阻尼波纹管在沉积过程中提供更大的保护。概念2 Altus Shrink具有高沉降铜沉积能力,具有优化的直通速度和先进的精细间距控制,以及高达5 MHz的最大基频速率。反应堆的精细螺距控制确保了均匀性并增加了吞吐量，同时使重型铜层的沉积速率比以往任何时候都要高。NOVELLUS Concept 2 Altus Shrink也是高度过程稳定的，允许在底物上精确的薄膜沉积。冷却组件利用多种液体冷却套和精密热电偶来维持沉积的最佳温度。这样可以最大程度地减少侧壁侵蚀并延长薄膜层的使用寿命,从而进一步提高刀具的能效。概念2 Altus Shrink是一种超高真空沉积反应器,通过其先进的技术、腔室设计和冷却组件提供精确的薄膜沉积和更高的能源效率。其快速的螺距驱动和波纹管阻尼使得高密度铜沉积具有均匀性和增加的通量，使其成为半导体工业中最理想的选择。