二手 NOVELLUS Concept 2 Altus Shrink #9180728 待售

NOVELLUS Concept 2 Altus收缩反应堆是半导体器件制造的通用工具，允许制造结构设计不同的高精度纳米级晶体管。概念2 Altus收缩反应器是一种化学气相沉积（CVD）工具，它允许沉积各种用于装置制造的薄膜材料。该工具采用先进的等离子体CVD化学方法，以原子精度精确沉积单层材料。NOVELLUS Concept 2 Altus Shrink Reactor的设计使沉积速度更快，在较大的表面积上提供均匀的厚度。通过优化晶圆室收缩时的压力和气体流量，可以达到这种能力。结合超高真空和比其他常规CVD反应堆更低的压力，概念2 Altus收缩反应堆针对临界层厚度沉积进行了高度优化。它可以沉积各种耐蚀刻材料，为不同器件结构的各种厚度的金属介电膜提供良好的器件保护和沉积。NOVELLUS Concept 2 Altus Shrink反应堆还可以为模制闸门结构创造高纵横比的特征，允许卓越的设计灵活性。此外，该工具还能够沉积聚合物或氮化碳材料的保形纳米层，用于栅极绝缘和先进的金属栅极。概念2 Altus收缩反应器还具有一定范围的预热温度，以更好地控制薄膜厚度，以及高质量、耐用沉积的可变退火后功能。此外,它还具有较高的薄膜吞吐量和生产效率,以及嵌入式诊断。它是一个完全集成的气体输送系统，包括配方控制、质量流量控制器、MFC监测以及在线气体清除和监测能力，以获得可追溯的结果。NOVELLUS Concept 2 Altus Shrink Reactor有精确设计的工艺室，以改善大面积沉积的均匀性和最小的温度波动，以及提高工艺稳定性以获得可预测的结果。该工具还具有自动晶片传输，包括晶片加载、卸载、橡胶停止晶片卡盘以及每个配方的晶片数量。它还能够进行最先进的过程控制,具有易于使用的图形用户界面和用于反馈和质量控制的现场计量。