二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Altus #293627308 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Altus （Altus）是一种反应堆，使用独特的双等离子体室设计来支持先进的加工技术。此设计有助于优化设备执行许多过程（如沉积和蚀刻）的能力,从而提高效率和精度。阿尔特斯反应堆利用两个腔室创造两个截然不同的等离子体环境。第一室以高功率运行，产生高温、高密度的等离子体，而第二室以较低功率运行，发出较低温度、较低密度的等离子体。这种双腔室设计为Altus提供了无与伦比的灵活性，以支持广泛的沉积和蚀刻过程，具有高均匀性的覆盖范围和质量。Altus还能够维持极其稳定的加工环境，这有助于减少工艺参数的变化，因此在薄膜颗粒、掺杂浓度和工艺可重复性方面产生优越的工艺均匀性。这种性能是通过一个复杂的护套流管理系统实现的，该系统将护套气划分在两个腔室之间，控制和优化每个阶段的沉积和蚀刻过程。重要的是要注意，阿尔特斯反应堆不仅在制造方面表现出色，而且非常耐用。该反应堆采用高质量的材料建造，确保它能够抵抗过程引起的磨损，并且可以使用更长的时间。此外，Altus反应堆的内部使用先进的复合材料，这也有助于降低其总体维护成本。总之，CONCEPT 2 Altus反应堆是一种先进、通用、可靠的设备，可以支持大规模或小规模的制造工艺。其广泛的支撑工序，优越的工序统一性，耐用的构造使其成为许多制造企业的理想选择。