二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Altus #9191508 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Altus是由NOVELLUS Systems, Inc.开发的一种高温金属有机化学气相沉积（MOCVD）反应器，专为先进的半导体制造工艺而设计。具体来说，反应器设计用于生产改进的非硅基板上集成电路的电介质和金属层。该反应器采用管状热墙设计，能够精确控制温度和沉积速率。喷嘴可维持高达1000 °C的高温，其小尺寸允许极精确的控制和高纯度的结果。其温控室绝缘良好，即使受到外界环境温度波动的影响，也能实现精确、稳定的工艺效果。CONCEPT 2 Altus是NOVELLUS Systems的MOCVD反应堆系列中最先进的。其先进的计算机控制设备能够对线宽、厚度、表面粗糙度等多种参数进行精确控制。它还允许对薄膜成分进行精确控制，从而允许更先进的应用，如薄层的沉积和均匀的合金膜。NOVELLUS CONCEPT 2 Altus还采用了创新的热喷冷却技术来增强性能。集成冷却系统可提高结果的稳定性和均匀性。热喷雾还允许更高的吞吐量和改进的单元正常运行时间。此外，有源真空抽油机确保快速抽水，从而减少过程运行之间所花费的时间。总体而言，CONCEPT 2 Altus是一种先进可靠的MOCVD反应堆，专门为满足最严格的半导体制造工艺需求而设计。其创新的设计和计算机控制工具能够精确控制一系列参数和薄膜组成，从而实现更复杂的技术和应用。此外，其集成的热喷冷却资产和主动真空泵浦模型大大提高了其性能，使其成为半导体行业的宝贵资产。