二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Altus #9268202 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Altus是一种最先进的高密度反应堆，用于半导体工业制造复杂的集成电路。它是一种等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备，设计用于快速高效地处理多层或多层基板。凭借其先进的沉积能力，CONCEPT 2 Altus可用于多种应用，包括薄膜的生产、高k电介质、层间电介质。NOVELLUS CONCEPT 2 Altus使用溷合磁耦合等离子体源，结合了电容耦合等离子体（CCP）和电感耦合等离子体（ICP）源，以获得最大的柔韧性和一致的薄膜质量。反应堆专有的无大型机功率控制有助于减少漂移,并在长期运行过程中保持工艺参数一致,有助于确保生产的每台设备都具有尽可能高的质量。CONCEPT 2 Altus被设计为具有高度的过程适应性，允许用户适应广泛的过程挑战，如成核、均匀性和步骤覆盖。增强型气体输送系统旨在提供快速气体转换和在每种基板上均匀的气体通量分布。NOVELLUS CONCEPT 2 Altus利用闸阀和专有的上游气体输送精密模块,可以在整个基板上提供均匀的沉积,并确保生产的薄膜具有最佳的步长覆盖和均匀性。CONCEPT 2 Altus还设有一系列牵引式组件，包括进、出压力控制器、石英放大器、调节热电阻和温度控制热电偶。这一系列令人印象深刻的特性确保了基板的均匀性和精确度。NOVELLUS CONCEPT 2 Altus是半导体制造的理想反应堆。它是一个可靠、经济高效且适应性强的单元,可提供始终如一的高质量胶片和最佳的跨步覆盖范围。CONCEPT 2 Altus凭借其先进的磁耦合等离子体源、可调气体输送机以及强大的牵引件，是确保产品一致可靠、均匀性的完美工具。