二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Altus #9377394 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Altus是一种物理气相沉积（PVD）反应器，旨在使多种材料沉积到基板上。适用于一系列应用，包括金属、半导体、陶瓷和低k介电膜的沉积。Altus是一种创新的先进PVD工具,具有丰富的薄膜和材料沉积技术,具有很高的吞吐量和灵活性。Altus具有最先进的设计，具有双线性磁源配置、真空压力容器和无丝状工艺室。双线磁源构型将物料的来源直接放置在製程室中，製造出能量极高且均匀的等离子体。这种等离子体允许沉积对膜厚度和组成有精确控制的高质量膜。真空压力容器进一步提高了工艺的均匀性，允许对工艺参数进行微调。无丝加工室提供了卓越的均匀性和可靠性，以及改进的工艺灵活性。它具有溷合工艺选项,允许根据需要更改工艺参数,而无需在沉积前对材料进行任何光学表征。这样就可以使用多个目标材料和沉积过程,而无需任何系统修改。CONCEPT 2 Altus还具有原位光发射光谱（OES）系统。OES允许对等离子体进行瞬时监测，包括温度和成分，允许操作员对过程进行实时调整。通过提供沉积的实时数据，Altus确保了一贯高质量的薄膜和可重现的性能。总体而言，NOVELLUS CONCEPT 2 Altus是一种先进的PVD反应堆，非常适合许多应用。它提供了先进的技术，能够对材料沉积进行精确控制，目标材料的光学特性最小化。此外，先进的原位光学发射光谱法可以对该过程进行实时监测，确保高质量和可重现的结果。