二手 NOVELLUS CONCEPT 2-CVDD-S #293776222 待售

NOVELLUS Concept 2 CVDD S是专门为沉积半导体材料而设计的化学气相沉积（CVD）反应器。它是一个单一的晶圆，超高真空室，利用前体的低压气体溷合物生产半导体材料的薄膜。前体气体被吸入室内，然后被室内产生的高温加热分解。这会产生一种以均匀厚度沉积到基板上的蒸气化合物。Concept 2 CVDD S提供溷合模式处理能力，可以沉积氮化物、氧化物、多晶硅和SRD金属。它还允许快速、自动化的晶片处理,以实现最大的吞吐量,并具有自动配方设置功能,使溷合模式沉积的成分之间能够快速转换。NOVELLUS Concept 2 CVDD S利用尖端设计提供超高沉降速率性能和卓越的均匀性。它采用刚性晶圆船结构,并配有优化的两网供电设备,可减少压降时间（VDT）,实现稳态过程控制。该腔室采用金属波纹管闸阀密封，以实现卓越的真空维护，同时动力输送系统提供高均匀性和高度可重复的过程。此外，该装置还具有全自动基板传输机制，可提高晶圆处理效率。Concept 2 CVDD S还具有先进的计算机化过程控制机，具有气体流速、压力、温度、功率、通量等可编程变量。它还提供了广泛的过程监视功能和调整功能,可实现精确的过程控制和快速的生产。此外,该工具经济可靠,维护效率低.综上所述，NOVELLUS Concept 2 CVDD S是一种超高空、单晶片、CVD反应器，具有较高的沉积速率、精确的控制和优异的均匀性。它非常适合广泛的半导体应用,并具有自动基板传输机制、两网供电资产、可编程参数和一系列过程监控功能等功能。它也经济、可靠、维护水平低。