二手 NOVELLUS Concept 2 Dual Altus Shrink #9242193 待售

NOVELLUS Concept 2 Dual Altus Shrink Reactor是一种功能强大、用途广泛的半导体器件制造工具。这种先进的设备非常适合制造高性能、低功耗的集成电路设备。它是一个双室反应堆设计，两个室都致力于不同的任务。上腔用于收缩蚀刻，下腔用于低功率定向蚀刻。上室的收缩蚀刻过程允许二维装置特性在减小的同时仍保持其特性。这是制造小型、快速集成电路的重要组成部分。该过程使用磁增强等离子体源和高效双棱镜蚀刻阀进行,使设备功能能够在低功耗的情况下快速蚀刻。下室为定向蚀刻室。该腔室利用化学辅助离子注入（CAI）从设备表面定向去除材料。这对于阵列结构或特征（如薄互连线或接触孔）很有用。由于过程非常精确，这使得定向蚀刻过程效率更高。Concept 2 Dual Altus Shrink反应堆需要定期维护和重新校准以确保峰值性能，制造商提供技术支持以实现这一点。清洁解决方桉可用于去除石墨和其他可随着时间推移积累的颗粒物,设备提供的精密软件包使校准和维护变得容易。总体而言，NOVELLUS Concept 2 Dual Altus Shrink Reactor是制造先进集成电路器件的强大灵活工具。它结合了收缩蚀刻和定向蚀刻功能，加上用户友好的维护和校准软件，使其成为半导体器件设计工程师的理想选择。