二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express #9223972 待售
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ID: 9223972
System
User interface: C2-SCON5995
Wafer shape: Flat / Notch
No SMIF interface
No aligner option
Module A / B: Express
Process A: ARC
Process B: AEC
Load lock baratron model: Convectron
Index robot type: Index 2
TM Robot type: Mac 7
TM Robot blade: Metal
Wafer sensor: Existence
Signal tower
No fab installation
Module controller: MC1
Host interface: SECS
EMO: Push button
Front monitor: System UI LCD
Back monitor: CRT
No load lock dry pump
Slit valve insert
Slit valve type: SMC L-Motion
No TM dry pump
TM Throttle valve model: Millipore
TM Baratron model: MKS
Module A / B:
Chamber type: Express
Module controller: MC1
Chamber process: ARC
IOC Version:
IOC1 / 4.1
IOC2 / 4.1
IOC3 / 4.1
Manometer 1(10T): MKS
Manometer 2(1000T): MKS
Process clean type: Normal
HF Generator: AE RFG5500
LF Generator: AE PDX1400
RF Match: Mercury
Heater block type: (6) Stations
End point option: Dual head
Spindle top plate type: (6) Pieces
Spindle type: Ferrofluidic
Foreline gate heat option
Foreline gate valve: HVA
Throttle valve: MKS 2538-15665
Throttle valve heat option
Liquid IOC version: 4.1
No module dry pump
RF Isolation box missing
Pearl kit missing (N2O Treatment kit)
Gas / MFC Size / MFC / Model
N2 / 5 / SLM / Awra FC7800CD
N2 / 10 / SLM / Awra FC7800CD
N2O / 20 / SLM / Awra FC7800CD
NH3 / 10 / SLM / Awra FC7800CD
SÌH4 / 1 / SLM / Awra FC7800CD
O2/CF/ 20 / SLM / Awra FC7800CD
PH3/N2 / 2 / SLM / Awra FC7800CD
N2O / 1 / SLM / Awra FC7800CD
C2F6 / 5 / SLM / Awra FC7800CD
System:
Main power: 208 V, 3 Phase, 5 wires
UPS power: 120 V, 3 Phase, 3 wires.
NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express是一种反应堆，用于化学过程和涂层。它设有两个内部旋转管和一个平坦的下游沉积室。它旨在最大程度地提高吞吐量,同时提供最大性能。CONCEPT 2 Dual Sequel Express的主要部件是上下蒸汽射流喷射器、同心坡道和挡板、下游淋浴和高压水气流。上下喷气喷射器将雾化前体喷入反应室中，然后加热反应。同心斜坡和挡板增加了反应溷合物的停留时间，使得所有组分之间的反应程度更大。下游淋浴设计用于在反应室的内壁和外壁上沉积任何反应产物。最后，高压水气流保证了室内反应的均匀性。NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express具有处理多种材料的能力，如丙烯酸、氧化物、硅酮、氮化物、碳化物等。可用于化学气相沉积（CVD）、物理和化学气相沉积（PECVD）、溅射沉积。CONCEPT 2 Dual Sequel Express也有处理热沉积作业的能力。NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express还提供了高级级别的控制、分析和安全功能。它配备了远程生产监视器，允许用户跟踪最高工艺参数，以确保精确控制。它还有一个集成的触摸屏，用于改进用户界面和数据记录。数据采集系统提供了反应堆室内实时生产的数据和分析，说明了过程的均匀性。最后，CONCEPT 2 Dual Sequel Express还具有工艺关闭阀和紧急关闭按钮等安全功能。总体而言,NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express提供了一种高效、安全的化学加工和涂层方法。所提供的高级控制级别确保了在任何过程中的精度和统一性。远程生产监视器和集成触摸屏使该过程高度用户友好,从而提高了效率。
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