二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express #9249030 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express是专门为半导体器件制造中的沉积过程而设计的高性能、双板、批处理反应器。它具有两个可串联或串联操作的独立、自分级的板状腔室,允许同时在一个腔室中执行多达四个工艺步骤（即溅射、蚀刻、CVD等）。顺序过程允许任何NOVELLUS反应堆的最高吞吐量。Dual Sequel Express的总容量约为每小时60个晶圆，最多8个晶圆构成工艺配方。该设备具有卓越的均匀性和较高的吞吐量。此外，工作空间是高度可调的，允许用户定制过程，以优化层均匀性和提高沉积再现性。Dual Sequel Express还集成了先进的自动化产品跟踪系统和参数控制,以确保实现流程配方的所有一致性要求。它还具有气体分配单元,可优化气体溷合和雾化.通过调整注入速度和压力，Dual Sequel Express提供了对腔室中发生的过程的更高水平的控制。Dual Sequel Express的设计确保了它可以用于多种材料和电介质的生产过程。与p型、n型 Si、SiGe、SiC等材料兼容。此外，该机设备齐全，可支撑碳纳米管、石墨烯等先进材料。此外，Dual Sequel Express反应堆拥有一个直观的用户界面，用户可以方便地监测和控制反应堆中的所有过程。这种直观的界面使操作员能够快速、准确地设置新配方并轻松排除出现的任何问题。它还具有用于预测性维护的自我诊断功能,从而提高了工具的可靠性。总体而言，CONCEPT 2 Dual Sequel Express是为半导体器件制造中的沉积过程而设计的一种先进的双板批处理反应器。它具有两个独立的、可同时运行的自分级电池板室,一个复杂的自动化产品跟踪资产,一个气体分配模型,一个直观的用户界面,以及用于预测性维护的自我诊断。它的容量可高达每小时60个晶圆，最多8个晶圆用于工艺配方，其可调的工作空间允许用户量身定制工艺，以确保一致性和可重复性。