二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express #9281506 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express （DSX）反应堆是专门为需要高精度、重复性和控制的应用而设计的专用双室单晶圆处理设备。该设计提供了两个不同的腔室，具有隔离沉积和其他处理系统，能够独立或同时运行。DSX反应堆提供了所有工艺工具中最高水平的工艺控制和精度。这主要是通过先进的物料管理和工艺控制技术实现的，包括提供晶圆运动和工艺步骤精确控制的多个独立电机控制器。此外，DSX能以最小的样品扰动检测低至45nm分辨率的晶片内特性，其先进的真空室控制器能够实时精确监控和维持低压条件。DSX网络旨在优化流程均匀性周期和控制流程步骤的数量。其配方优化功能允许用户在运行时修改和重新优化配方。这为用户提供了实时调整流程参数时对流程一致性和一致性的最大控制。DSX反应堆还提供多种工艺工具，如湿蚀刻、干蚀刻和化学/物理气相沉积（CVD/PVD）。其湿蚀刻系统可在单个吊舱或罐体中处理多达10种不同的化学物质，从而实现最大产量和工艺均匀性。CVD/PVD模块非常适合高材料沉积速率和精确控制，以实现高度均匀的器件结构。DSX单元需要定期维护，包括燃气线路验证、化学安装和补给、一般机器配置等活动。在此过程中,技术人员应特别注意验证腔室和工艺线的完整性,然后再进行下一步。为确保操作员的安全，DSX提供了防止潜在危险蒸气、火花和火灾的保护，并配备了一个车载监测工具，以检查是否存在气体和颗粒。简而言之，CONCEPT 2 Dual Sequel Express （DSX）反应堆是一种创新、双室、单晶圆处理资产，旨在提供高度精确和可重复的过程，并具有最大控制能力。其先进的电机和真空控制器、物料管理功能、配方优化和工艺工具为操作员提供了一个强大可靠的平台，以确保一致和成功的处理。