二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel #9242195 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel
ID: 9242195
晶圆大小: 8"
优质的: 2010
CVD System, 8" 2010 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2双续反应堆是NOVELLUS Concept 2反应堆中最尖端的。它是一个批次型反应堆,意味着它可以同时处理多批原料。反应堆允许使用菜单驱动的界面快速改变过程,以及由于分离的过程流提高操作员的安全性。Dual Sequel反应堆包含两个主腔室,两者并联运行,可独立用于处理不同批次的原料。这些反应堆还因采用NOVELLUS专有的Hastelloy和HP合金结构而具有出色的耐腐蚀和耐侵蚀性能,以及三密封腔室和夹套设计。反应堆配有四个用于引入原料、催化剂和原料改性部件的工艺端口,以及用于分析反应堆内材料的采样端口。这些端口被重型不锈钢外壳包围,以提高安全性,并设计用于加压或真空服务。原料流经反应堆,通过反应区段,根据需要进行搅拌、加热和冷却。NOVELLUS根据原料类型和要求采用连续或半连续的工艺控制。反应堆还配备了位于加热和冷却阶段的热交换器,以最大限度地实现热控制。Dual Sequel反应堆还设有带再锅炉的剥离器部分。再锅炉允许几种反应产物的高效收敛,以及在排放端口之前分离未反应的原料。Dual Sequel反应堆的其他特点包括一个仪器包,用于持续监测关键的过程变量,如压力、温度和流速。CONCEPT 2双续集反应堆是一个最先进的批量反应堆,提供出色的反应堆动力学、工艺灵活性、控制能力、操作员安全以及高水平的产品质量和一致性。此外,该反应器能够生产传统批处理过程中不易获得的新化合物。
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