二手 NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel #9314381 待售

NOVELLUS Concept 2双速续集（又称C2DSS）是为半导体加工设计的反应堆。它利用专有的双速体系结构来提供卓越的过程控制,尤其是对于极具挑战性的材料。C2DSS是一种高效、多区、数控的化学反应设备，可实现精确的温度控制、过程控制和可扩展性。该系统还具有对所有反应参数的高级矢量控制监控功能。C2DSS具有双速度体系结构,允许操作员根据应用程序在两个不同的进程速度之间进行更改。这样可以提高吞吐量,而不会牺牲过程控制。这有助于在必须精确控制复杂物理特征和材料属性的应用中。该机组还具有温度监测和控制、自动压力调节、动态动力控制等节能功能。该C2DSS设计用于广泛的沉积过程，可以加工各种材料，包括硅、硅化物和多层材料。其精密的设计还可以实现出色的均匀性和闭环过程控制。此外,该机器还具有内置的安全功能,包括工艺联锁、自动关机和振动监视器。C2DSS先进的温度控制能够达到最高1000˚C的高温，同时保持最佳的均匀性和均匀性。这允许热过程如气相蚀刻、干蚀刻和CVD外延。该工具还具有先进的气体再循环资产，在操作过程中提供最大的反应稳定性和安全性。该C2DSS易于操作,可针对不同的应用程序需求快速重新配置。此外，它还配有广泛的配件，与各种计算机辅助过程控制（CPC）软件包兼容。该模型用途广泛，可用于技术开发、工艺优化、工艺集成和生产。总体而言，Concept 2 Dual Speed Sequel（C2DSS）是专为半导体加工而设计的功能强大且用途广泛的反应堆。其双速架构、先进的温度控制以及对不同材料的高效处理，使其成为各种应用的可靠而精确的解决方桉。