二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Speed #9096020 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Speed是NOVELLUS Systems开发的高性能气体驱动反应堆,Inc.to满足多种工业半导体制造要求。该反应堆设计用于在一个连续系统中处理大容量晶片产品，并提供两种运行速度。Dual Speed版本包括两组腔室，既可以执行长时间低压过程，也可以执行较短持续时间的高压过程。两速设置允许晶圆处理的最大吞吐量和灵活性。它采用了高效的气体通量工艺技术，由于气体负荷低，能够实现极低的腔室压力。闭环气体系统旨在降低与工艺相关的气体消耗和运营成本。反应堆配有先进的低温系统，以帮助保持对晶圆温度的高精度控制。双速还包括集成流量控制，以优化反应堆环境，确保精确的过程控制。反应堆的设计基于模块化架构。最大腔室尺寸为22ins x 14 ins，共有8个腔室，允许在利用最小空间的同时进行高效晶圆处理。每个腔室最多可容纳16个4英寸晶片或8个6英寸晶片，以提高制造能力。每个腔室还配备了专用的温度控制和精确的气体输送，以实现最佳的过程控制。CONCEPT 2双速反应堆还采用集成机器人技术进行无缝晶圆处理。机器人手臂用直观的用户界面编程，方便操作，晶圆传输时间快。机器人手臂具有集中存储区域，每个周期可同时处理多达48个晶圆。总体而言，NOVELLUS CONCEPT 2双速反应堆是一种功能强大、先进的气体驱动系统，旨在满足工业半导体制造要求。凭借两速运行、高效的空间管理、精密的温度控制、精确的气体输送、直观的用户界面以及集成的机器人技术，这座反应堆具备了满足严格晶圆加工要求的能力。