二手 NOVELLUS Concept 2 Dual Speed #9259411 待售

NOVELLUS Concept 2双速反应器是一种先进的反应性离子蚀刻（RIE）工具，利用两个单独的脉冲等离子体水平，在保持精确蚀刻选择性的同时实现更高的蚀刻速率。它能够在单个设备中执行蚀刻和沉积过程。这种双脉冲等离子体源和蚀刻/沉积室技术的结合使概念2能够有效蚀刻介电层和金属层，并具有精确的工艺控制和优异的效果。Concept 2是一款工业级RIE工具，具有双速、双频、双脉冲高密度等离子体源。这允许化学反应性，控制离子-中性速率，功率调谐，以及调制工艺气体。它的双脉冲等离子体源可以产生单电荷和多电荷物种，从而可以精确蚀刻电介质和金属。概念2还提供灵活的过程控制，具有任意波形和脉冲宽度。Concept 2的RIE技术还可以在单个系统中对各种材料进行高精度蚀刻。它集成了硬件来有效地控制薄膜厚度均匀性、蚀刻平滑和图案轮廓控制。概念2还保证可重现蚀刻速率，具有一系列工艺室，并利用钝化反应堆防止污染。这需要加载配方参数以确保蚀刻过程的可重复性。Concept 2的RIE技术允许在一个单元中蚀刻各种材料进行大规模生产。它有一个宽广的工艺窗口，能够精确控制电介质和金属层的蚀刻。机器的过程晶片加载和高吞吐量能力使其成为大批量生产的理想选择。此外,Concept 2高效节能,利用闭环冷却器降低刀具功耗。这使得它成为任何生产过程的绝佳选择。