二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Dual Express #9361977 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Dual Express是一种用于生产集成电路的大型化学气相沉积（CVD）反应器。反应堆是一种双室设计，可以串联运行，允许多层二氧化硅（SiO2）和其他材料以单一工艺沉积。概念2续堆设计为晶片製造商建造集成电路提供一种高效且具成本效益的手段。反应器由两个室组成：一个过程室和一个重新装填室.加工室是物质层实际沉积的地方；装填室装有沉积工具和材料。腔室由一系列管道和阀门连接，允许物料进出加工腔室。每个腔室都配有自己的一套温度、压力、气流传感器和控制器。CONCEPT 2 Sequel Dual Express反应堆设计为以"dual Express"模式运行，其中两个沉积步骤同时进行。这样就可以同时沉积两层材料,从而实现更快、更高效的制造过程时间。它还能够沉积具有不同性质的材料，如晶体取向，而不必在不同的沉积室之间切换。反应堆由300毫米火炬加热系统提供动力，具有先进的温度和均匀性控制，可以精确控制炉温。它还利用先进的气体输送系统和微粒过滤和捕获。这些功能结合起来提供了可靠且可重复的CVD过程。反应堆设计用于生产集成电路，如晶体管栅极氧化物、钝化层和接触层。概念2续堆设计为在研究和製造两种设定下都能运作，能够为高性能集成电路日益增长的需求提供可靠的解决方桉。该反应堆具有先进的特点，能够以比传统沉积工艺更经济高效的方式生产质量可靠的高性能装置。