二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #293743517 待售
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ID: 293743517
CVD System, 8"
Wafer type: Notch / flat
Process: SION
Mag7 Robot vacuum
Single chamber
Light towers: RYG, 3-Color
Main frame: DLCM Express, 8"
Signal tower: Cool station
Dual load lock cassette module
No integrated SMIF ASYST LPI2200
No front-end option
Process chamber A:
Process type: SION
High frequency RF Generator: RFG5500
Low frequency RF Generator: PDX1400
Gate and throttle valve
End point detector
Manometers: 10 / 1000 TORR MKS
Ferrofluidic spindle
Clean process: IN-SITU
Gas box:
Gas / MFC Size (SCCM)
C2F6 / 5000
PH3 / 1000
O2 / 5000
SIH4 / 1000
NH3 / 3000
N2O / 10000
N2 / 10000
N2 / 5000
Heater
Shower head
Gas box exhaust
2002 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express反应堆是一种高度通用的化学加工设备，设计用于研发和试点制造。该系统提供高性能和高生产率,使研究人员能够以最短的停机时间和较低的拥有成本探索新的工艺化学方法。CONCEPT 2 Sequel Express反应堆是一个多室单元，利用流体细胞在一个单元中提供多达24种不同的过程操作。反应堆配备了一个灵活性选项，允许反应堆从一室转换为四室或一玻璃构型。此外，该机具有使用通用试剂的能力。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express反应堆配备了"触摸屏控制"，允许用户控制反应参数和调度，以及执行统计跟踪和过程警报监控。该工具还具有用于优化反应条件和控制的集成真空资产。CONCEPT 2 Sequel Express Reactors设计用于各种研究和工艺应用。这些可能包括有机合成反应、彷生反应、纳米材料生产、工艺开发优化和工艺规模化优化。过程控制和数据收集的自动化使得NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express Reactor成为制药和精细化工制造的理想选择。反应堆能够控制温度、压力和其他工艺参数，并提供反应动力学的实时反馈。此模型通过消除其他步骤（如中间测试或校准）,同时提供准确和可预测的结果,帮助降低工艺成本。此外，反应堆的设计符合安全要求，减少了对额外安全特性的需求。总体而言，CONCEPT 2 Sequel Express Reactor是一种功能强大、用途广泛且成本效益高的反应堆选项。该设备集成了先进的过程控制和数据收集,有助于简化和优化研究和制造过程。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express Reactor是那些为其工艺优化和制造需求寻找强大可靠工具的人的理想选择。
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