二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #9235840 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express是一种化学机械、高生产力、低成本的原子层沉积（ALD）反应器，设计用于半导体器件生产。CONCEPT 2 Sequel Express已成功用于生产高性能、先进的集成电路设备。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express是一款低成本、高速、全晶圆工艺开发和生产设备。该系统每小时最多可处理150个晶圆，使其适用于各种各样的内存设备和逻辑设备。其三区反应堆配置确保了整个晶圆表面的均匀性。该装置还具有高速、极低热诱导应力、低压薄膜沉积机。CONCEPT 2 Sequel Express反应堆比其他ALD反应堆系统有几个优势。由于其卓越的设计,它提供了更快的吞吐量、更好的统一性和更低的成本。它的两级沉积工具也是有益的，因为它允许良好的过程控制。该资产还被设计为尽量减少停机时间和最大限度地提高产量，使其极其可靠和具有成本效益。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express还提供了更高的流程效率。两级低压沉积过程可以改善表面均匀性、均匀性和更大的film_thickness控制。同时沉积两种材料也有助于减少浪费，而使用二次晶圆旋转电动机有助于加快沉积速率，并提供更可靠、均匀的沉积速率。最后,CONCEPT 2 Sequel Express是一种先进的ALD反应器,可提供卓越的生产率、出色的工艺控制和均匀性、低成本和最小的停机时间,是寻求高性能设备和集成电路生产的理想选择。