二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #9243045 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express是一种化学气相沉积（CVD）反应堆技术的工具。它是一种单晶片、小占地面积的设备，用于将薄膜层沉积在硅晶片和其他基板上。该系统采用先进的工艺控制算法和精密沉积头基板运动系统，实现了更高的精度、更快的循环时间和更高的吞吐量性能。CONCEPT 2 Sequel Express工艺允许多种薄膜材料沉积。它配备了种类繁多的工艺气体，使沉积层的均匀性和最小化。该单元利用单晶片、多区高密度等离子体（HDP）源沉积介电膜、金属化层、钝化层、屏障层。HDP工艺通过加入反应物流动聚焦（RFF）模块得到加强，该模块允许对抗氧化气体流动进行独立控制。此外，RFF模块允许生成定制和预定义的等离子体轮廓，增强沉积质量和控制膜厚度。该机还配备了专利基板级运动控制功能，旨在减少晶片上的不均匀性。此功能可精确控制底物运动和相邻薄膜的定位。低能偏压也可以引入基板，促进膜的均匀生长。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express还采用了多种先进的过程控制，以提高过程的均匀性和可重复性。它包括基板倾斜控制和可变基板偏置控制等技术，旨在确保晶圆内部和整个晶圆的均匀性。此外，该工具还具有多种原位反射仪监测资产，用户可以测量线宽、总厚度、蚀刻和沉积速率等各种质量。CONCEPT 2 Sequel Express模型是一种功能强大的CVD生产工具，用于半导体器件制造。它拥有先进的过程控制算法和精确的沉积头和基板运动系统.它能够沉积多种薄膜材料，具有独立控制抗氧化气流和可调底物偏差的功能。此外，其先进的工艺控制和现场监测设备提高了工艺的统一性和可重复性。