二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #9259413 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express是一种化学气相沉积（CVD）反应器，设计用于在半导体工业的基板上沉积特殊的薄膜材料层。该设备的沉积速率为80至160纳米/分钟，晶圆尺寸为300毫米或更大。它用于金属间屏障、纤薄互连、衬里等应用，用于铜和钨金属化。该反应堆采用了最先进的SmartFlow™技术，能够精确控制沉积速率和工艺均匀性。SmartFlow模块可确保整个晶片表面的高度均匀性,并能够调节沉积物的厚度。该系统还设计了一个集成冷却单元，允许在加工过程中对基板进行精确的温度优化和稳定。CONCEPT 2 Sequel Express具有双可编程气体阀，为定制流量和成分提供了一系列选项。这允许形成由多个复合层组成的复杂材料层。该机还配备了低压涡轮泵，以及涡轮分子泵，允许通过保持真空完整性来操纵过程。该工具具有先进的多路复用能力，能够同时处理多个基板。这项技术增加了吞吐量,并允许多个晶圆的批处理操作。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express是一款可靠的设备，为半导体行业提供高效一致的沉积工艺。它的高级功能为用户提供了创建高质量、过程均匀性高的材料层所需的工具。