二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #9259415 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express是为半导体工业设计的反应堆。它是一种紧凑的单晶片工艺工具，带有一个独立的腔室，能够进行热化学气相沉积（CVD）工艺，包括低温多晶硅、氮化硅、氧化硅、钨、铝/铜、介电和其他特种工艺。CONCEPT 2 Sequel Express专为在受控环境中实现最佳工艺能力而设计,提供可靠的操作和统一性,以及高生产吞吐量。它还针对快速循环时间进行了优化，能够每分钟运行多达8个晶圆直径。该工具的总腔室压力相对较低,通常约为2 Torr,设计时采用一次性全陶瓷基板载体,消除了传统石英敏感剂载体通常存在的处理和清洁问题。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express通过提供方便配置前端和后端模块的功能提供了额外的灵活性。在硬件方面，CONCEPT 2 Sequel Express利用静电卡盘改进了晶圆温度的均匀性和精确控制。这与温度、位置、真空和工艺气体的控制设备相辅相成。其他部件包括泵送系统、工艺室、工艺气体系统、工艺容器、工艺热源、加热排气和负载锁。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express CVD腔室的先进设计，旨在优化工艺效果，减少污染，最大限度地提高吞吐量。它的设计还具有增强工艺安全性的功能，包括用于处理气体泄漏的主动检测装置和用于阳极的双绝缘封装。CONCEPT 2 Sequel Express是一款高度可配置的机器，提供出色的一致性和一致性以及可靠和可重复的处理。其简单的设计确保了易于操作和维护,而为特定作业配置模块的能力为各种应用程序提供了灵活性。所有这些特性使得NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express成为半导体行业CVD处理的理想工具。