二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #9362147 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express是一种创新的化学气相沉积（CVD）反应器，专为生产集成电路产品而设计。CONCEPT 2 Sequel Express利用半导体制造技术的一些最新进展，提供了一个经济高效、高性能的CVD平台，用于处理超小型特征尺寸晶片。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express具有可移动的基板支架，具有大的"X-Y"运动范围，能够在两分钟内快速交换多达10个晶圆。这样可以减少基材处理时间,并保持高挥发性产品的完整性。基板支架具有可移动的插件，使基板特定对齐，以确保完美的膜均匀性和附着力。反应堆还集成了智能软件，使优化处理条件得以快速、轻松地建立。CONCEPT 2 Sequel Express包括一个高功率的Process Module,它采用了一系列功能强大的多通道气体喷射阀来提供对气体比和气体流量的精确控制。工艺模块还包括Avotec® NOX®计算机控制的工艺定序器,用于管理气流,并在检测到不希望的残留物时自动注入防反应。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express配备了脉冲热塔设备（Putsed Heat Tower Equipment，简称PHTS）和原位清洁系统，旨在保证高质量的工艺。PHTS旨在提供高精度的各种温度,从而改进处理。该系统还包括一个模块上冷却剂单元，可以精确控制晶圆温度，以实现多晶硅膜的最佳沉积。CONCEPT 2 Sequel Express还具有许多增强的安全功能,旨在保护人员和环境。该机器包括一个获得专利的低压爆炸潜能装置（EPD），有效地消除了由于危险气体积聚而在室内爆炸的风险。还包括一个全自动紧急关机工具，用于在发生灾难性故障时保护人员。总体而言,NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express反应堆是一种功能强大的CVD资产,旨在为超小型特征尺寸晶片的大量生产提供高度可靠、经济高效的沉积工艺。该型号的高级功能和智能软件可提高性能和安全性,并将帮助您最大限度地提高制造业务的生产率。