二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #293627310 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel是单晶圆、旋转电极、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）反应器。其设计目的是在大批量生产中提供可靠、均匀的薄膜和涂层。反应堆是先进互连、钝化和电介质等应用的理想选择。反应堆采用专有的直流增强技术，在广泛的温度、压力和射频频率范围内运行ECR、ECD和溅射过程时，确保过程的稳定性和均匀性。其5轴模块化模块可实现出色的均匀性和过程窗口控制。反应堆的创新工艺室采用远程射频阴极和射频窗口控制系统.内部电极控制着氮气和氙气环境中的沉积过程。其低热质量悬浮臂有助于调节沉积过程中整个晶片的均匀性。此外，反应堆还包括一个过程监控和控制系统（PMCS），用于在运行过程中监控过程参数。CONCEPT 2 Sequel可以在300 mm晶片上达到高达8um/min的沉积速率，并具有较低的总拥有成本和高温均匀性。它是为满足先进的电介质、绝缘体、金属化和钝化的工艺要求而设计的。该反应器能够运行SiO2和无定形碳膜以及氮化全新和氮化硅薄膜。反应堆还提供了三区均匀温度、均匀射频分布等多种模块化解。这有助于提供卓越的统一性和提高的生产效率,同时降低总运营成本。此外，反应堆可配置为包括一个高性能气体喷射器，以方便前体输送，以及用于温度感测的安全联锁和/或后端热力计。总体而言，NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel是一种先进可靠的PECVD反应器，有助于以经济高效的方式生产优质薄膜和涂层。它保证了一致性和生产率,同时确保了安全和快速的过程。