二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #9188213 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel是一种用于制造半导体芯片的高性能蚀刻反应器。在介电、多晶硅、钨和浅沟槽隔离（STI）蚀刻工艺中，它是提高吞吐量、提高均匀性和加快循环时间的理想选择。Concept 2采用双压力双气体配置,非常高效。较高的快速启动压力允许相对较短的启动周期时间，而较低的工作压力则确保了最佳的气体和颗粒流动，从而降低了加工成本。概念2还具有两个频率控制的射频发生器,可以更精细地控制蚀刻过程。双微机械、双LED扫描设备可确保最高吞吐量和卓越的质量结果,甚至检测到粒径、均匀性和溅射速率的最小变化。微波发生器允许腔室在启动时和运行期间立即加热到所需温度。结合高效的气体输送系统，确保了最高的工艺吞吐量和最佳的均匀性。概念2还具有冷却等离子体，冷墙结构，它提供了一个优越的热剖析周围的区域被蚀刻。这样可以降低热梯度,促进更好的节能,减少交叉污染,并消除因机械倾斜和扫描而造成的反射和循环时间损失。此外,Concept 2支持简化维护和维修的快速访问功能。该平台设有一个集成的诊断中心,操作员可以在整个制造过程中对设备进行更改和跟踪调整。此外，实时工艺监测机允许操作员监控晶片蚀刻质量和工艺参数。总体而言，CONCEPT 2 Sequel是制造半导体芯片时提高产量、吞吐量、均匀性和节省成本的理想反应堆。