二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #9247399 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel是一种多用途反应器，能够进行高沉积速率的过程和多个过程的应用。它的设计采用了先进的熔炉技术和气体输送系统，以便能够加工各种材料。CONCEPT 2 Sequel反应堆有多室设计，允许一次处理更多的腔室，从而使过程时间减少。它可以同时处理多达12个晶圆，从而增加吞吐量。此外，它有一个可变的工艺室大小，允许操作员适应不同的晶圆大小和基板配置进入反应堆。这对那些有兴趣加工各种基材的人很有用。该反应堆还具有低压CVD系统，利用气体溷合技术在晶片之间产生均匀的气流。这有助于确保更好的薄膜均匀性和沉积材料的可重复性。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel还具有沉积过程中整个晶片温度分布均匀的特点，采用先进的热管理技术，如加热基座和对流。这样可以提高沉积速率,减少热梯度问题。CONCEPT 2 Sequel反应堆还包括一个内置的过程流监测系统，让操作员更好地了解沉积过程，并实时进行调整，如果事情不能如期进行。这对于确保成本效益和准确的过程控制非常重要。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel是一个设计精良、可靠、用户友好的反应堆，可以用来容纳多种工艺和材料。它提供了高沉积速率的工艺和可重复的薄膜，使其成为寻找高效工艺和可靠结果的工程师的理想选择。