二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #9250953 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel是一种先进的化学气相沉积（CVD）反应器，为了能够下一代IC製造过程步骤而开发。凭借CONCEPT 2 Sequel，NOVELLUS Corporation利用了现有的最佳CVD技术，并将其与增强功能相结合，使其成为市场上最可靠、最先进的反应堆。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel的设计采用了极为通用的配置，以满足各种各样的应用。它是一个单晶圆CVD反应堆，能够以并联和并联两种模式运行，以实现最佳吞吐量或最佳均匀性。在CONCEPT 2 Sequel的物理设计方面，晶片通过强大的、多区域的静电卡盘固定到位，用于在非常均匀的热环境中稳定晶片。反应堆还设有多个炉区、高精度加热器和独特的高压气体输送系统，以确保每个晶片上的沉积一致。它还具有防止污染发展的原位清洁机制以及最小化膜应力的沉积屏蔽。除了机械设计外，NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel还配备了先进的软件，最大限度地提高了CVD工艺的生产率。此软件的功能包括CVD过程控制、配方开发、数据收集、故障检测和警报以及高级诊断测试。专为CONCEPT 2 Sequel设计的正在申请专利的NOVELLUS Control软件包是业界最强健、用户友好的软件。总体而言，NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel是最先进可靠的CVD反应堆，适用于最苛刻的应用。其多功能性和广泛的工艺能力,加上先进的机械和软件功能,使其成为实现最高质量水平的理想解决方桉。这座CVD反应堆可以轻松处理严密的规格和上市时间限制，让其客户制造出可靠性最高的半导体元件。