二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #9399068 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel是为晶圆加工而设计的高温化学气相沉积（CVD）设备。为满足最苛刻的半导体制造需求而设计的CONCEPT 2 Sequel反应器可在各种底物温度下提供卓越、精确的薄膜沉积控制。该系统利用加热器基座基础，能够对高达1000摄氏度的基板温度进行可靠和准确的控制。也可以针对高达1 Torr的过程压力进行配置。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel拥有创新的多活塞设计,允许同时使用金属或金属有机原料。CONCEPT 2 Sequel中使用的工艺气体可以自动分配，也可以手动控制，从而提高胶片的均匀性和厚度。其封闭式开放式腔室设计可方便地安装在现有生产线中，并在基板内实现最佳温度平衡。它还允许捕获可能污染大气的废水。除了其优越的温度和压力控制，NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel还具有高效的气流控制单元。本机监视反应器内部的气流，可以快速调节基板内的压力和温度水平。而且，反应堆与半导体制造执行工具（SMES）软件中的程序兼容，允许用户轻松跟踪资产的性能。使用最新的NOVELLUS技术建造的CONCEPT 2 Sequel反应堆具有很高的可靠性和高能效。它还具有多种安全功能,可保护模型免受有害材料、热量或压力干扰。最后,NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel特别易于维护,在需要维修时只需要最少的停机时间。